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產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S用于晶圓周邊曝光的 UV-LED 光源，與 g 線和 i 線抗蝕劑兼容。
產(chǎn)品型號(hào)：EW01S/EW04S廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-07訪 問 量：126
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UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S
UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S
不僅可以安裝在新設(shè)備上，還可以方便地替換目前使用的UV燈光源。
配備UV-LED，可降低功耗，減少對(duì)環(huán)境的影響，延長(zhǎng)光源的使用壽命，并且無需任何機(jī)械消耗部件，大大有助于降低客戶的運(yùn)行成本。
光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了超過 7,000mw/cm2 的高輸出。它是處理厚膜抗蝕劑的理想選擇，以前需要大量的處理時(shí)間。此外，可以顯著縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于增加處理的晶圓數(shù)量。
| 物品 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 工作環(huán)境溫度 | 5～40℃（無凝結(jié)） |
| 電源電壓 | 單相100~240V |
| 工頻 | 50/60赫茲 |
| 發(fā)射峰值波長(zhǎng) | 365±5nm |
| 光輸出穩(wěn)定性 | ±5%以內(nèi) |
| 初始紫外線強(qiáng)度 | 2000mw/c㎡以上（at365nm，距離掩模版0.5mm） |
| 強(qiáng)度分布均勻性 | 10% 或更少（4 x 5 mm 面積） |
| 紫外光源 | 紫外LED |
| UV光源壽命 | 20,000 小時(shí)（驅(qū)動(dòng)電流下的預(yù)計(jì)壽命）* UV 強(qiáng)度為初始值的 50% 或以上時(shí)的累積點(diǎn)亮?xí)r間 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED 開/關(guān)控制（通過遠(yuǎn)程和手動(dòng)控制開/關(guān)燈） |
| 光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能 | UV-LED 電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)度調(diào)節(jié)范圍為 20 至 99% |
| 外觀材質(zhì) | 防銹的 |
| 外形尺寸 | 150（寬）×200（深）×192（高）毫米 |
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