日本syscom振動(dòng)/位移分析裝置激光測(cè)量?jī)x MEMSMap 510 特點(diǎn)介紹

Memsmap 510使用CCD相機(jī)和顯微鏡鏡頭對(duì)微小物體（0.1毫米或以上）進(jìn)行振動(dòng)位移分析。

將激光照射到待測(cè)物體上，物體反射的激光與內(nèi)部參考激光之間會(huì)產(chǎn)生干涉條紋。使用高精度顯微鏡鏡頭和 CCD 相機(jī)通過(guò)圖像處理板將這些干涉條紋作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)捕獲到 PC 中。MEMSMAP可以使用兩種不同的方法來(lái)測(cè)量被測(cè)物體的振動(dòng)和變形：實(shí)時(shí)模式和相位調(diào)制方法。

在實(shí)時(shí)模式下，振動(dòng)和變形以重疊的條紋圖案（輪廓圖）顯示在物體圖像上。通過(guò)掃頻，可以輕松觀察共振點(diǎn)處的振動(dòng)模式。此外，通過(guò)使用相位調(diào)制方法，可以以動(dòng)畫或3D繪圖的形式顯示振動(dòng)模式和位移模式，從而可以進(jìn)行出色的定量和定性振動(dòng)和位移分析。

下圖顯示了尺寸為 3 x 3 mm 的硅膠膜在氣壓作用下變形時(shí)的位移模式。通過(guò)將條紋圖案實(shí)時(shí)重疊在測(cè)量對(duì)象上來(lái)顯示位移量，可以輕松確認(rèn)位移分析。

通過(guò)使用相位調(diào)制，測(cè)量靈敏度可提高至大約 1 nm。

日本syscom振動(dòng)/位移分析裝置激光測(cè)量?jī)x MEMSMap 510 規(guī)格參數(shù)

下面的動(dòng)畫是 14.3MHz 超聲波組件和 37MHz 石英晶體振動(dòng)模式 3D 繪圖示例。

該 3D 圖還包含實(shí)際振動(dòng)狀態(tài)的相位信息，通過(guò)將相位信息從 0 更改為 2π，您可以在動(dòng)畫中檢查對(duì)象的振動(dòng)狀態(tài)。

當(dāng)在振動(dòng)測(cè)量中使用相位調(diào)制方法時(shí)，Micromap還控制被測(cè)物體的激勵(lì)頻率，可以測(cè)量約1納米的振動(dòng)幅度和高達(dá)數(shù)百兆赫茲的頻率范圍。