日本kk-ace壓力控制器半導體調節(jié)內置傳感器 AP160MAP160M是與半導體制造工藝等中使用的氣體兼容的控制器,通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調節(jié)管道內的壓力。由于它具有內置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。
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日本kk-ace壓力控制器半導體調節(jié)內置傳感器 AP160M 特點介紹
AP160M是與半導體制造工藝等中使用的氣體兼容的控制器,通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調節(jié)管道內的壓力。由于它具有內置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。
最大控制壓力約為650kPa,最大控制流量為100kPa壓差,噴射量有500cc/min和3000cc/min兩種。AP160M型號通過脈沖寬度調制控制比例電磁閥,提高了響應性并消除了遲滯,因此在約1秒內達到設定壓力。
壓力接頭相當于1/4" VCR,所有氣體接觸部件和壓力傳感器均由金屬制成,使其兼容所有氣體,包括半導體工藝氣體,以及惰性氣體、腐蝕性氣體和危險氣體是有可能的。
日本kk-ace壓力控制器半導體調節(jié)內置傳感器 AP160M 規(guī)格參數
壓力設置 需要從計算機等輸入壓力設定值。
控制方式 比例電磁閥紙漿控制批發(fā)商
控制壓力 0~500kPa
最大流量 壓差100kPa時有500cc/min和3000cc/min兩種
響應時間 1秒達到設定值
輸入信號 0 5VDC 持續(xù)/關閉
R485
外部傳感器輸入 (4個20A可能)
輸出信號 報警輸出 RS485.0~5VDC
配件 1/4〃VCR同等產品
閥座泄漏 10-6Pa·m3/秒以下
準確性 ±5kPa(800kPaFS 時)
電源電壓 24VDC±10%
目前的消費 最大 200mA
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傳真:
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