日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH 特點(diǎn)介紹

L18H系列是一款1.5英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)塊壓力調(diào)節(jié)器，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L(zhǎng)18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了極大的改善。

主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。

排放流量大約是之前產(chǎn)品 L18 系列的兩倍（相同的面對(duì)面尺寸）

隔膜外密封采用金屬密封。

日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH 規(guī)格參數(shù)

適用氣體 高純氣體 

入口壓力 0.99MPa以下 

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.7MPa

（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.7MPa） 

承受壓力 1.5MPa（入口側(cè)） 

CV值 0.1 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 約0.36公斤 

安裝方法 使用后部螺釘安裝 

類型L18高速鋼L18HSHL18HSVL18HVHL18HSH-CL2

氣體接觸部分 

主體SUS316L SUS316真空雙熔材質(zhì) SUS316L 

隔膜哈氏合金® C-22 

閥座PCTFE（Daiflon®） 氟樹(shù)脂 

調(diào)節(jié)閥桿SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 哈氏合金® C-22