日本RIX半導(dǎo)體行業(yè)用單口、多端口旋轉(zhuǎn)接頭 L40系列/MFES系列 特點(diǎn)介紹

該旋轉(zhuǎn)接頭是為半導(dǎo)體行業(yè)供應(yīng)純水和化學(xué)溶液而開發(fā)的，主回路采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子溶出到液體中。

主通道采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子洗脫到流體中。

液體

純水、化學(xué)溶液等

該旋轉(zhuǎn)接頭也是針對半導(dǎo)體行業(yè)而開發(fā)的，在與液體接觸的部件上使用非金屬材料或涂層，從而可以創(chuàng)建一種最大限度地減少金屬離子溶出到液體中的結(jié)構(gòu)。

特點(diǎn)

可使用非金屬材料或?qū)右翰考M(jìn)行涂層，以最大限度地減少金屬離子溶出到流體中。

流體

純水、空氣、真空、泥漿等

日本RIX半導(dǎo)體行業(yè)用單口、多端口旋轉(zhuǎn)接頭 L40系列/MFES系列 規(guī)格參數(shù)

壓力（兆帕） 轉(zhuǎn)速（分-1） 端口數(shù)量 

L40 1 600 1 

壓力（兆帕） 轉(zhuǎn)速（分-1） 端口數(shù)量 

MFES 1 200 2~ 

可使用非金屬材料或?qū)右翰考M(jìn)行涂層，以最大限度地減少金屬離子溶出到流體中。

流體

純水、空氣、真空、泥漿等

主通道采用非金屬材料，最大限度地減少金屬離子洗脫到流體中。

液體

純水、化學(xué)溶液等

該旋轉(zhuǎn)接頭也是針對半導(dǎo)體行業(yè)而開發(fā)的，在與液體接觸的部件上使用非金屬材料或涂層，從而可以創(chuàng)建一種最大限度地減少金屬離子溶出到液體中的結(jié)構(gòu)。