日本Anelva水晶規(guī)真空規(guī)高穩(wěn)定測(cè)量緊湊輕便 M-320XG 特點(diǎn)介紹

可在大氣壓至1×10 -2 Pa的廣泛壓力范圍內(nèi)進(jìn)行高度可靠的測(cè)量。

由于它利用了晶體振蕩器的諧振阻抗根據(jù)壓力而變化的現(xiàn)象，因此具有更高的再現(xiàn)性，并且可以在接近大氣壓的情況下進(jìn)行高度穩(wěn)定的測(cè)量。

它可用作壓力開(kāi)關(guān)，用于檢測(cè)腔室中的大氣壓力通風(fēng)口以及測(cè)量過(guò)程壓力。

測(cè)量范圍寬：

從大氣壓到1×10 -2 Pa，測(cè)量結(jié)果具有良好的重復(fù)性。

高度安全的

晶體真空計(jì)是沒(méi)有熱源（燈絲）的真空計(jì)。

緊湊、超輕的

控制器單元適合手掌，重量?jī)H為 200 克

日本Anelva水晶規(guī)真空規(guī)高穩(wěn)定測(cè)量緊湊輕便 M-320XG 規(guī)格參數(shù)

型號(hào)名稱M-320XG

測(cè)量球XG-1 晶體測(cè)頭（僅適用于晶體測(cè)頭）

測(cè)量壓力范圍1×10 -2 Pa 至大氣壓

氣體類型選擇氮?dú)狻鍤?、氫氣、空?/p>

模擬輸出

（壓力信號(hào)）DC 0 - 10 V：使用數(shù)字開(kāi)關(guān)設(shè)置以下項(xiàng)目的輸出格式

①日志輸出 ②

復(fù)合輸出

③線性輸出 滿量程壓力范圍可選（1×10 1 、 1×10 2 、 1×10 3 、 1×10 4 、 1 ×10 5帕)

遠(yuǎn)程輸入/輸出輸入 ① 氣體種類設(shè)定 2 位信號(hào)切換

② 零點(diǎn)調(diào)整

③ ATM 設(shè)定

輸出 2 個(gè)設(shè)定點(diǎn)輸出

設(shè)定點(diǎn)2點(diǎn)（光電耦合器輸出，遲滯固定）

由數(shù)字開(kāi)關(guān)設(shè)置（SP1，SP2余尾數(shù)，指數(shù)）

操作環(huán)境5 ℃ 至 50 ℃（包括控制器）

僅測(cè)頭耐熱溫度 150 ℃ MAX

零位調(diào)整使用 PUSH 開(kāi)關(guān)或遠(yuǎn)程 I/O 輸入進(jìn)行軟件調(diào)零

滿量程調(diào)整通過(guò)微調(diào)器音量調(diào)節(jié)

輸入/輸出連接器Dsub 15P

展示3 個(gè) LED（PWR/ALM...綠/紅雙色發(fā)光，SP1-狀態(tài)...綠色，SP2-狀態(tài)...綠色）

所需電源DC 22 V 至 33 V，（最大功耗 2 W）

外形尺寸（毫米）72.5H x 102W x 44.5D（不含測(cè)頭）