日本technomu非接觸式截面/粗糙度測量裝置 TFS2100系列 特點介紹

該系統(tǒng)使用光斑直徑為2μm的位移傳感器以非接觸方式測量物體的表面粗糙度和截面形狀。

由于符合JIS'94和JIS'01，因此可以比較和替換現(xiàn)有數(shù)據(jù)。

? 以小尺寸、低價格實現(xiàn)高精度測量 

 ? 可以使用市售的激光位移傳感器。 

 ? 快速數(shù)據(jù)采集 

 ? 由于是非接觸式，因此無需擔心損壞測試對象。 

 ? 能夠測量透明或鏡面物體 

 ? 被測物體的影響很小 

 ? 多種測量模式可供選擇 

 ? 粗糙度符合JIS'94和JIS'01 

 ? 也可以合并您自己的粗糙度參數(shù)。 

 ? 可以根據(jù)所使用的物體的形狀構(gòu)建系統(tǒng)。 

日本technomu非接觸式截面/粗糙度測量裝置 TFS2100系列 規(guī)格參數(shù)

項目目TFS2100AW TFS2100型式別透明體、鏡面體的測量可測量半導體激光源670nm可見光CLASSI170μWSS21-80XY80mm激光傳感器無（客戶自備）Z軸方向測量范圍±0.3mm測量方式共焦式工作距離分辨率0.01μm光斑直徑φ2μm直線性±0.5%F.S重復精度AC100V±10%50/60Hz60W以下TFS2100系列通用機一覽表8μm以內(nèi)（最大移動時）±1μm以內(nèi)10μm以內(nèi)（最大移動時）100mm0.1μm/STEP