日本technomu翹曲測(cè)量機(jī)XY軸門(mén)型非接觸式 TCS2100/TCS3100 特點(diǎn)介紹

使用激光位移傳感器，將工件固定

，在傳感器移動(dòng)的同時(shí)，

以非接觸方式高精度測(cè)量工件表面高度方向的位移量，并

通過(guò)下式計(jì)算翹曲量：專用軟件。

待測(cè)量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產(chǎn)品或透明玻璃。

這是自動(dòng)判定作品合格與否的檢查機(jī)。

日本technomu翹曲測(cè)量機(jī)XY軸門(mén)型非接觸式 TCS2100/TCS3100 規(guī)格參數(shù)

? 以低成本實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量 

 ? 高速XY平臺(tái)，數(shù)據(jù)采集速度快 

 ? 由于是非接觸式，因此無(wú)需擔(dān)心損壞測(cè)試對(duì)象。 

 ? 被測(cè)物體的影響很小 

 ? 可以測(cè)量從晶圓到研磨金屬產(chǎn)品或透明玻璃的任何物體 

 ? 底座采用石材面板，可最大限度地減少老化。 

 ? 多種測(cè)量模式快速測(cè)量 

 ? 通過(guò)登記工件的判斷基準(zhǔn)值，可以自動(dòng)判斷OK或NG。 

 ? 我們將根據(jù)工件制作測(cè)量臺(tái)等（請(qǐng)咨詢我們）。 

  ? 測(cè)量面積：200×200mm、300×300mm、其他按要求 

  ? 測(cè)量方式：XY掃描法 

  ? 可用的激光位移計(jì)：三角測(cè)量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸 

  ? 分辨率：~0.001μm（最大） 

芯片的彎曲度測(cè)量不銹鋼、鈦、鋁、鐵板等金屬板的翹曲測(cè)量磨削加工品的翹曲測(cè)量樹(shù)脂成型品、橡膠加工品等翹曲測(cè)定主要適用于方形的測(cè)量對(duì)象物