wkfluidhandling高純度風(fēng)箱泵制造半導(dǎo)體用 PSR/PSS/PSH系列 特點(diǎn)介紹

PSR系列泵是環(huán)境溫度、超純?cè)傺h(huán)應(yīng)用的理想解決方案。這些聚四氟乙烯泵和PFA泵是金屬自由的,使用一個(gè)的穿梭閥,不需要復(fù)雜的緩和和手動(dòng)重置。

他們安全可靠地連續(xù)運(yùn)行。它們提供高達(dá)4巴(60磅)的空氣供應(yīng)壓力,并在流體溫度高達(dá)100℃(212℃)的熱循環(huán)應(yīng)用中運(yùn)行。

PSH系列泵是高溫、超循環(huán)和輸送應(yīng)用的理想解決方案。這些聚四氟乙烯泵和PFA泵是金屬自由的,使用一個(gè)的穿梭閥,不需要復(fù)雜的緩和和手動(dòng)重置。

他們安全可靠地連續(xù)運(yùn)行。它們提供的空氣供應(yīng)壓力高達(dá)5.5巴(80磅),并在流體溫度高達(dá)145℃(293華氏度)的熱循環(huán)應(yīng)用中運(yùn)行。

這種泵有四種型號(hào),即:Psh015型、Psh030型、Psh060型和Psh140型,它們的最大流量分別為每分鐘15、30、60和140升。

wkfluidhandling高純度風(fēng)箱泵制造半導(dǎo)體用 PSR/PSS/PSH系列 規(guī)格參數(shù)

100% Metal-Free

過程安全的聚四氟乙烯和PFA流動(dòng)路徑

防漏、機(jī)械設(shè)計(jì)

帶按鈕的ptfe頭

無(wú)彈性體O形圈,無(wú)泄漏,無(wú)再轉(zhuǎn)矩

換檔機(jī)構(gòu)沒有潤(rùn)滑

沒有產(chǎn)生熱量的電動(dòng)機(jī)

氣動(dòng)邏輯使液體脈動(dòng)和泵振動(dòng)最小化

各種液體連接選項(xiàng)

由于無(wú)金屬設(shè)計(jì),安全、無(wú)泄漏操作

航天飛機(jī)閥門中的陶瓷

耐用設(shè)計(jì)的最小部件

第100級(jí)清潔室裝配、測(cè)試和包裝

易于安裝和服務(wù)

兩年保質(zhì)期內(nèi)無(wú)預(yù)防性維護(hù)

強(qiáng)勁的風(fēng)箱提供5.5巴(80磅)的供應(yīng)壓力

死頭操作

模型PSH015PSH030PSH060PSH140

最大流量* 13.4 lpm

3.54每分鐘 22.8 lpm

6.02每分鐘 58.3 lpm

15.40每分鐘 118 lpm

31.3每分鐘 

空中連接尺寸 1/4-in FNPT 1/4-in FNPT 1/4-in FNPT 3/8-in FNPT 

每個(gè)周期的流離失所* 0.074升

0.019加侖 0.074升

0.019加侖 0.178升

0.047加侖 0.500升

0.132加侖 

每分鐘循環(huán)* 最多216 最多333 348最多 最多254