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日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的中空纖維透氣膜補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。
產(chǎn)品型號：eFLOW 2AC-P201廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-06-17訪 問 量：191
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日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 特點介紹
eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的中空纖維透氣膜補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。
可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。
關(guān)于超純水防靜電裝置
• 由于結(jié)構(gòu)簡單，故障少
• 采用的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良
主要用途
• 掩模、網(wǎng)袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗
日本DIC超純水電阻率值防靜電裝置槽清洗用 eFLOW 2AC-P201 規(guī)格參數(shù)
裝置原理
通過調(diào)整用二氧化碳溶解模組生成的二氧化碳飽和水和超純水的混合比率，可調(diào)節(jié)超純水的電阻率值。
CO2溶解原理
DIW在模組內(nèi)的中空纖維膜內(nèi)部流動。其間，從中空纖維膜外側(cè)CO2溶入DIW內(nèi)。溶解的二氧化碳在DIW內(nèi)發(fā)生離子化，可使DIW具有導(dǎo)電性，消除靜電。由于使用微細(xì)中空纖維膜束，可以有效獲得二氧化碳溶解所需要的表面積。
eFLOW Series是通過使用DIC自主開發(fā)的中空纖維透氣膜補充二氧化碳的方法控制超純水電阻率值的裝置。
可得到防止因靜電引起的 灰塵再次附著和基板圖形的防 靜電破壞的效果。
關(guān)于超純水防靜電裝置
• 由于結(jié)構(gòu)簡單，故障少
• 采用的配管分配方式，易于控制電阻率值且穩(wěn)定性優(yōu)良
主要用途
• 掩模、網(wǎng)袋的清洗• 洗滌器清洗• 高壓噴射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗
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