英國(guó)WEST靜電力顯微鏡EFM高分辨率ESVM系統(tǒng) WEST/英國(guó) 1100TN型 特點(diǎn)介紹

這是一種掃描探針顯微鏡型表面電位分布測(cè)量系統(tǒng)，具有尺寸為 5μm x 5μm 的懸臂。

可以測(cè)量傳統(tǒng)表面靜電計(jì)無(wú)法測(cè)量的約10μm的極精細(xì)表面電位分布，并且可以掃描約數(shù)mm的極寬區(qū)域。

可以以 0.5% 的高精度測(cè)量 ±1000V 的電壓。

英國(guó)WEST靜電力顯微鏡EFM高分辨率ESVM系統(tǒng) WEST/英國(guó) 1100TN型 規(guī)格參數(shù)

空間分辨率： 10um以下 

懸臂尖： 5x5um2 

測(cè)量電壓范圍： ±1000V（最大±2000V） 

測(cè)量電壓精度： 0.5%滿(mǎn)量程 

測(cè)量電壓靈敏度： 最大20mV以下 

測(cè)量速度： 最大 30 毫秒/圖 

掃描范圍： 最大5x5mm2 

掃描步長(zhǎng)： 最小1um 

測(cè)量模式： 定點(diǎn)、線、3D 

先端寸法5μmx5μmのカンチレバーを有した走査型プローブ顕微鏡タイプの表面電位分布計(jì)測(cè)システムです。

測(cè)定器外観今までの表面電位計(jì)では測(cè)定出來(lái)なかった非常に細(xì)かい10μm程度の表面電位分布を測(cè)定する事が出來(lái)、數(shù)mm程度の非常に広いエリアの走査が可能です。

±1000Vの電圧を0.5%の高精度で測(cè)定する事が出來(lái)ます。