日本nisshooptical微米深度高度測量裝置 AFM-30 特點介紹

這是一種新型深度和高度測量裝置，結合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF（自動對焦）跟蹤。

連續(xù)跟蹤自動對焦驅動可實現快速、易于使用的測量，并具有高重復性。

由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺階形狀的同時進行測量，因此可以實時識別測量屏幕上的高度，從而輕松確定需要測量的區(qū)域。

這是一種狹縫圖像、點光圖像和電子線參考線的中心在測量點處都重合的測量系統(tǒng)，通過檢查錯位，可以防止測量值錯誤。 

光切割仰角可根據應用場合從標準90°至30°、60°、120°中選擇。 

日本nisshooptical微米深度高度測量裝置 AFM-30 規(guī)格參數

■ 觀察方法 

 光學切割法（利用狹縫光學系統(tǒng)測量深度和高度） 

■ 物鏡 

 固定放大倍率：10倍（也可提供5倍和20倍） 

■ Z軸驅動方式 

 使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法（可離線手動測量） 

■ 投影狹縫 

 10μm半反射鏡型 

■ Z軸測量 

 Z軸數字線性規(guī)0.1μm讀數 

■ 重復性 

 ±1μm以內 

■ 使用的光源 

 半導體激光器（2級）、鹵素光源 

清晰顯示深度、高度和水平差的光學切割方法...自動捕捉代表橫截面形狀的細縫光、紅色激光點和水平差的變化，Z軸功能快速跟隨，并以數字方式記錄測量值。這是一種新型深度/高度測量裝置，結合了顯示功能（自動對焦系統(tǒng)）和電子線法參考線，擴大了測量范圍，增加了其實用價值。