美國TESCOM半導(dǎo)體制造用減壓閥超高純度氣體 74-3000/74-3800系列 特點(diǎn)介紹

TESCOM 74-3000 系列超高純度減壓穩(wěn)壓器提供 5 Ra 或 10 Ra 的表面光潔度，高流量 Cv = 0.5，以及無內(nèi)螺紋和低內(nèi)體積設(shè)計。

進(jìn)口壓力為 600、1000 或 3500 psi/41.3、69 或 241 巴，出口壓力最高為 150 psi/10.3 巴。

應(yīng)用領(lǐng)域

· 高流量吹掃系統(tǒng)

· 1/2"使用點(diǎn)

· 特殊氣體的調(diào)節(jié)

· 半導(dǎo)體制造特點(diǎn)和優(yōu)勢

· 緊湊、手裝和減壓

· 內(nèi)部體積小

· 順暢、流動路徑用于吹掃

· 內(nèi)部無螺紋

· 絕對壓力范圍型號可供選擇

· 金屬-金屬隔膜對主體密封件的優(yōu)異氣密性

美國TESCOM半導(dǎo)體制造用減壓閥超高純度氣體 74-3000/74-3800系列 規(guī)格參數(shù)

操作參數(shù)ANSI/ASME B31.3標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的壓力額定值最大進(jìn)口壓力300、600、1000或3500 psi/20.7、41.4、69.0或241巴出口壓力范圍100 mm Hg絕對壓力-15 psi、3-30、3-60、4-100和4-150 psi100 mm Hp絕對壓力-1.0巴、0.21-2.1、0.21 -4.1、0. 28-6.9和0.28-10.3巴設(shè)計耐壓額定壓力的150%設(shè)計耐壓爆破壓力額定壓力的400%經(jīng)認(rèn)證的最大內(nèi)壓< 1 x 10-9 atm cc/sec He根據(jù)ASTM E449操作溫度:Vespel®座:-40°F至300°F/ -40°C至149°C PCTFE座: -40°F至140°F/ - 40°C至60°C Teflon® PFA座: -40 °F至160°F / -40°C 至71°C流體容量Cv=0.5衰減進(jìn)口特性1.3 psi/0.09巴或100 psi/6.9巴