日本mitaka非接觸式微透鏡陣列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) MA系列 特點(diǎn)介紹

配備了NH系列的所有基本形狀測(cè)量功能，可以測(cè)量透鏡和模具的橫截面形狀，并使用專用軟件一次性測(cè)量曲率和中心坐標(biāo)。

可以使用高精度圖像處理來評(píng)估鏡片的光學(xué)特性。

評(píng)價(jià)項(xiàng)目：有效焦距/后焦距/透過率/焦點(diǎn)位置/焦深/MTF

矩陣創(chuàng)建軟件

專用矩陣測(cè)量軟件可記憶陣列模式并允許順利自動(dòng)測(cè)量。

非常適合 MLA 的研發(fā)和質(zhì)量控制，MLA 的尺寸越來越細(xì)、面積越來越大。

NH顯微鏡部分可配備Nomarski微分干涉光學(xué)系統(tǒng)。

該光學(xué)系統(tǒng)可以直觀地捕獲數(shù)十埃的表面粗糙度和劃痕，這是普通明場(chǎng)光學(xué)系統(tǒng)無法觀察到的，并且可以使用激光探頭在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行定量粗糙度和臺(tái)階測(cè)量。

日本mitaka非接觸式微透鏡陣列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) MA系列 規(guī)格參數(shù)

使用鏡片形狀測(cè)量

激光探頭進(jìn)行測(cè)量

- 各鏡片表面的曲率半徑、中心坐標(biāo)值

、圓度

、頂點(diǎn)高度、XY坐標(biāo)

、截面、三維形狀測(cè)量、表面粗糙度測(cè)量

通過圖像處理進(jìn)行測(cè)量

?有效焦距

?后焦距、MLA有效焦距

?各鏡頭的對(duì)焦位置及位置偏移

?各鏡頭的對(duì)焦光斑尺寸

?透過率

?焦平面處的成像評(píng)價(jià)（彗形像差、畸變像差等）

-深度焦點(diǎn)（可選）

- MTF 測(cè)量（可選）

移動(dòng)范圍（X、Y、Z、AF）

100, 100, 100, 10毫米

XY軸刻度分辨率

0.1μm

AF軸刻度分辨率

0.01μm

測(cè)量原理

點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦方法 ISO 25178-605

激光

λ = 635nm 輸出小于 1mW